檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="矽奈米線"
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本論文研究的內容分成四個部分。第一個部分是在矽基材上製備鎳金屬觸媒,利用無電解鍍鎳法先在基材上鍍上一層鎳的薄膜,以利使用SLS機制成長矽奈米線。 第二部分為藉由熱退火處理的機制,在高溫爐管中進行熱處…
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由於線寬縮小達到奈米尺寸的需要,奈米結構與材料近年來被廣泛的研究與討論著。化學氣相沉積和電子束微影技術是目前最常用來製作矽奈米線的方法。其中,化學氣相沉積法須通入silane等危險易爆氣體。此篇介紹…